|
The chemistry of metal CVD Автор: Toivo Kodas Год: 1994 |
ASM Handbook: Volume 5: Surface Engineering (Asm Handbook) (Asm Handbook) Автор: Faith Reidenbach, Faith Reidenbach Год: 1994 |
Handbook of Chemical Vapor Deposition Автор: Hugh O. Pierson Год: 2010 |
CVD of Compound Semiconductors Автор: Anthony C. Jones Год: 2008 |