Direkte Lasersynthese von Funktionsschichten

Direkte Lasersynthese von Funktionsschichten
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152
ISBN
 
9783838110196
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Hartstoffsysteme wie Titannitrid spielen im Bereich der Materialwissenschaften eine wichtige Rolle. Insbesondere der Verschlei?- und Korrosionsschutz basiert auf solchen Systemen. Neben den klassischen Verfahren wie PVD oder CVD, stellt das hier untersuchte Verfahren der direkten Lasersynthese in reaktiver Gasumgebung eine Alternative zur Herstellung solcher Schichten dar. Das Buch zeigt die erfolgreiche Synthese solcher Schichten mit Hilfe von FEL und Nd:YAG Laserbestrahlung und versucht einen Einblick in die ablaufenden physikalischen Prozesse zu geben. Mit Hilfe von FEM Rechnungen war es moglich, eine Quantifizierung der experimentell schwer zuganglichen Prozesse zu erhalten. Des Weiteren wurden umfangreiche Untersuchungen wie Harte- und Stickstoffprofilierung an den Schichten vorgenommen. So konnte mittels XRD - die mikroskopische Struktur der Schichten ermittelt und mit den Scanparametern korreliert werden. Mit Hilfe einer dimensionslosen Gro?e wird der Prozess zu dem...

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