Entwicklung eines mobilen EUV-Rastermikroskopes

Entwicklung eines mobilen EUV-Rastermikroskopes
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124
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9783639071313
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In diesem Buch wird der Aufbau eines auf Zonenplattenoptiken basierenden, kompakten, mobilen Labor-Rastermikroskopes beschrieben. Der Anwendungsbereich liegt im Bereich weicher Rontgen- und EUV-Strahlung. Dieser Teil des Spektrums umfa?t den fur biologische Untersuchungen interessanten Bereich des Wasserfensters zwischen 2,3 und 4,4 nm Wellenlange, genauso wie die fur die Industrie prominente Linie bei 13 nm. Als kompakte Quelle fur EUV-Strahlung kommen beispielsweise laserinduzierte Plasmen oder Hohe-Harmonische Strahlung in Frage. Laserinduzierte Plasmen sind heute gut verstanden und liefern zeitlich stabile Quellen mit guter Konversionseffizienz, um abbildende Anwendungen wie die Mikroskopie zu betreiben. Hohe-Harmonische Strahlung dagegen ermoglicht mit seiner kurzen Pulsstruktur im Bereich einiger Femtosekunden Untersuchungen dynamischer Prozesse. Beide Quelltypen bieten die Moglichkeit, rastermikroskopische Experimente von Gro?einrichtungen wie Elektronenspeicherringen in das...

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