Магнетронные распылительные системы. Книга 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления
 |
|
Описание:
Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких пленок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы. Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов истудентов высших технических заведений, специализирующихся в области электронных физико-технических устройств и ионно-плазменных технологий для электроники, оптики и машиностроения.Похожие книги
 | GPS: Все, что Вы хотели знать, но боялись спросить. Неофициальное пособие по глобальной системе местоопределения Автор: А. М. Петрова Год: 2006 |
| Влезай - не убьет! Реальная помощь домашнему электрику Автор: Перебаскин А.В. Год: 2008 |
