Металлизация ультрабольших интегральных схем
 |
|
Описание:
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.Похожие книги
 | Твоя улыбка (миниатюрное издание) Автор: Грета Спичли Год: 2003 |
 | Top Sante, декабрь-январь 2005 Автор: Максим Букин Год: 2004 |
 | Твои правила (миниатюрное издание) Автор: Грета Спичли Год: 2004 |
 | Компьютер для бизнес-леди Автор: Т. Сибрина Год: 2005 |
 | Диагностика по пульсу Автор: Васант Лад Год: 2007 |
 | Агхора II. Кундалини Автор: Роберт Э. Свобода Год: 2003 |