Модифицирование полупроводников пучками протонов

Модифицирование полупроводников пучками протонов
Автор
 
Год
 
Страниц
 
268
ISBN
 
5020249882
Издатель
 
Наука
Категория
 
Разные разделы физики

Содержание:

Мечты умирают первыми, Бегство из Занаду

Описание:

В монографии впервые дано систематическое изложение современного состояния исследований модифицирования полупроводников пучками протонов. Выполнен анализ общих феноменологических закономерностей взаимодействия легких ионов с монокристаллическими полупроводниками. Проведено концептуальное обобщение результатов фундаментальных исследований, полученных в течение последнего времени по таким основным направлениям радиационного модифицирования полупроводников пучками протонов, как трансмутационное ядерное легирование, радиационно-стимулированная диффузия, легирование радиационными дефектами и формирование наноразмерных пористых слоев. Книга предназначена для научных работников в области физики взаимодействия излучения с веществом и радиационной физики твердого тела, а также для практиков в области электронного материаловедения и технологии полупроводниковых приборов.

Похожие книги

РадиоэкологияРадиоэкология
Автор: В. К. Сахаров
Год: 2006