Система кремний - диоксид кремния субмикронных СБИС

Система кремний - диоксид кремния субмикронных СБИС
Автор
 
Год
 
Страниц
 
384
ISBN
 
5948360083
Издатель
 
Техносфера
Категория
 
Радиотехника, связь (архив)

Содержание:

Серебряное копытце, Малахитовая шкатулка

Описание:

Рассмотрены математические модели системы Si-SiO2, способы стабилизации ее структурно-примесного состава и электрофизических параметров. На основе известных публикаций и собственных теоретических и экспериментальных исследований авторы описали модели технологического процесса термического окисления кремния. Рассмотрены электронно-ионные процессы в системе Si-SiO2, а также структурный и фазовый состав ее переходной области. Книга предназначена специалистам по проектированию и производству микросхем, студентам, аспирантам и преподавателям технических вузов.

Похожие книги

БетховенБетховен
Автор: Б. Кремнев
Год: 1961
Дефекты в кремнии и на его поверхностиДефекты в кремнии и на его поверхности
Автор: Вавилов, Киселев, Мукашев.
Год: 1990
Кремний. Элемент жизниКремний. Элемент жизни
Автор: Светлана Ладожская
Год: 2004
Целительные свойства кремнияЦелительные свойства кремния
Автор: Элеонора Михеева
Год: 2003