Система кремний - диоксид кремния субмикронных СБИС
|
Автор | | Г. Я. Красников, Н. А. Зайцев |
|
Содержание:
Серебряное копытце, Малахитовая шкатулка
Описание:
Рассмотрены математические модели системы Si-SiO2, способы стабилизации ее структурно-примесного состава и электрофизических параметров. На основе известных публикаций и собственных теоретических и экспериментальных исследований авторы описали модели технологического процесса термического окисления кремния. Рассмотрены электронно-ионные процессы в системе Si-SiO2, а также структурный и фазовый состав ее переходной области. Книга предназначена специалистам по проектированию и производству микросхем, студентам, аспирантам и преподавателям технических вузов.Похожие книги