Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Автор
 
Год
 
Страниц
 
192
ISBN
 
5948360393
Издатель
 
Техносфера
Категория
 
Молекулярная физика. Физика газов и жидкостей

Содержание:

Занятная риторика. Rhetorique Amusante

Описание:

Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении Функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.

Похожие книги

Нейролептики в детской психиатрической практикеНейролептики в детской психиатрической практике
Автор: А. Н. Бурдаков, Е. В. Бурдакова, Ю. А. Фесенко
Год: 2007