Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования
Автор
 
Год
 
Страниц
 
424
ISBN
 
9785947745856:9785947745832
Издатель
 
Бином. Лаборатория знаний
Категория
 
Автоматика. Радиоэлектроника. Связь
Искать в интернет библиотекахКупить

Описание:

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области

Похожие книги

БетховенБетховен
Автор: Б. Кремнев
Год: 1961
Система кремний - диоксид кремния субмикронных СБИССистема кремний - диоксид кремния субмикронных СБИС
Автор: Г. Я. Красников, Н. А. Зайцев
Год: 2003
Дефекты в кремнии и на его поверхностиДефекты в кремнии и на его поверхности
Автор: Вавилов, Киселев, Мукашев.
Год: 1990
Кремний. Элемент жизниКремний. Элемент жизни
Автор: Светлана Ладожская
Год: 2004
Целительные свойства кремнияЦелительные свойства кремния
Автор: Элеонора Михеева
Год: 2003