Технология СБИС. В двух книгах. Книга 1
 |
|
Содержание:
Релаксация Кум нье
Описание:
В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС. В книге 1 рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выращивания эпитаксиальных слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронными размерами элементов. Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.Похожие книги
 | Изготовление художественной мебели Автор: П. Д. Бобиков Год: 1988 |
 | Поделки из мятой бумаги Автор: Л. А. Садилова Год: 2008 |
 | Изготовление сварных конструкций в заводских условиях Автор: В. Ф. Лукьянов, В. Я. Харченко, Ю. Г. Людмирский Год: 2009 |
 | Основы технологии машиностроения Автор: Б. М. Базров Год: 2007 |
 | Бисероплетение для "чайников" и "продвинутых" мастериц Автор: И. Е. Клименко, Т. Н. Береснева Год: 2007 |
 | Основы технологии машиностроения Автор: Базров Б.М. Год: 2005 |