Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок
 |
|
Описание:
В книге обобщено современное состояние вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок.Похожие книги
 | Вакуумные процессы и оборудование ионно- и электронно-лучевой технологии Автор: Виноградов М.И. Год: 1989 |
 | Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы Автор: В. Киреев, А. Столяров Год: 2006 |
| Основы анализа поверхности и тонких пленок Автор: Feldman Год: 1992 |
 | Полимерные пленки Автор: Под редакцией Э. Ли и Дж. Пигготта Год: 2006 |